在半导体晶圆制造及芯片封装过程中，含砷废水的合规处理与实时监测是企业环保管理的重中之重。凭借高灵敏度、极强抗干扰能力与极低运维成本，Micromac C 水质在线分析仪（总砷）（以下简称Micromac C_总砷） 正在为全国多家知名半导体厂商提供全天候的精准监测保障。

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项目背景与监测痛点

上海某头部半导体制造企业，业务涵盖高端晶圆、集成电路芯片的研发和制造。在砷化镓（GaAs）等化合物半导体材料加工、离子注入及晶圆清洗工序中，会产生具有毒性强、浓度波动大特点的含砷废水。此类废水需经化学还原、沉淀过滤等严谨工艺处理后方可排放。

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解决方案与现场应用

为了严格把控废水排放合规性，该厂在废水总排口部署了 Micromac C_总砷。

• 安装方式：采用一体化落地式结构，配备简易预处理供样模块，适应现场复杂环境。

• 运行模式：设定2小时/次的高频监测，确保第一时间发现水质异常。

• 便捷运维：得益于设备极高的稳定性，运维人员仅需定期更换试剂与例行校准，大幅降低现场维护工作量。

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产品核心技术优势

针对半导体行业复杂废水的监测难题，Micromac C_总砷展现出卓越的技术适配性：

• 超高灵敏度：检出限低至1 μg/L采用多次吹脱富集技术，即使面对微量/低浓度的含砷废水，也能实现精准测定，完全满足超低排放监测需求。

• 强力抗干扰：无惧复杂水质独特吹脱法可有效消除水样中的浊度、色度及盐度干扰；同时完美避开 Pb（铅）、Zn（锌）、Cu（铜）、Ni（镍）、Cr（铬）、Co（钴） 等常见重金属离子的影响，确保测量数据真实可靠。

• 智能化运行：全流程可追溯。

智能量程切换：具备超量程自动分析与自动稀释切换功能，轻松应对生产过程中废水浓度的剧烈波动。

合规数据管理：内置标样核查与数据标识功能，过程透明可追溯，全面符合HJ/T 372-2007标准规范。

Micromac C 水质在线分析仪（总砷）

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客户价值与应用延展

目前，Micromac C_总砷已在该半导体企业上海工厂长期稳定运行。凭借精准的监测数据、极低的故障率以及便捷的运维体验，赢得了客户环保与运维部门的高度赞誉。

除了上海工厂外，Micromac C 总砷分析仪已广泛应用于北京、南京、无锡、太原等地的半导体及晶圆制造大厂，覆盖预处理工段过程监测与总排口合规监测等多个核心场景。